PSM1000
Il PSM1000 è un microscopio pronto per OEM con le migliori prestazioni di imaging possibili su campioni piatti e riflettenti. I pezzi metallurgici e i semiconduttori vengono riprodotti in modo impressionante grazie agli obiettivi plan-apochromatici LWD. L'ampio campo visivo con immagine diritta consente un orientamento rapido e una facile manipolazione. Ogni posizione del revolver portaobiettivi può essere centrata singolarmente. In questo modo, i dettagli rimangono perfettamente "nell'immagine" anche quando si cambia l'ingrandimento. L'uso di obiettivi opzionali con compensazione della parfocalità evita inoltre di dover rifocalizzare. L'elevata trasmissione degli obiettivi, comprese le lenti del tubo per NUV (355 nm) fino a NIR (1064 nm), consente l'integrazione del PSM1000 nei sistemi di ispezione dei wafer. Il passo ridotto della messa a fuoco fine consente una regolazione estremamente precisa del piano focale anche con ingrandimenti elevati.
Specifiche del sistema standard:
Concetto ottico: ottica con trasmissione da NUV a NIR
Tubo di osservazione: tubo trinoculare, tipo Siedentopf
Angolo di visione: angolo di visione di 30º
Divisione del fascio nel tubo trinoculare: commutabile 50:50/0:100 visivo: uscita telecamera
Distanza interpupillare: 55-75 mm
Compensazione diottrica: su entrambi gli oculari +/- 5 dpt
Oculari: campo largo WF10X/24 mm, con compensazione diottrica
Tubo intermedio: revolver a 3 lenti con 1X UV/VIS (355-532 nm), 1X IR/VIS (532-1064 nm), 2X
Revolver obiettivi: quadruplo, posizioni centrabili singolarmente
Classe di qualità obiettivi: Extra LWD Plan Apochromate
Obiettivi/campo di ingrandimento: opzionale
Filettatura obiettivo: M26X0,706
Tipo di treppiede: opzionale
Messa a fuoco: comando coassiale grossolano/fine, scorrevolezza regolabile
Passo della messa a fuoco fine: incremento di 1 μm
Campo di spostamento in Z: 50 mm
Illuminazione incidente: porta per il collegamento di un'illuminazione coassiale
Accessori inclusi nella fornitura: accessori di sicurezza laser, distanziali
Dimensioni: LxPxA 333x218x277 mm
